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2019屆平麵計量國際研討會在上海舉行 日期:2019.11.06
         近日,2019屆平麵計量國際研討會在上海舉行。會議由上海理工大學主辦,中國工程院信息與電子工程學部、中國計量科學研究院、中國航空工業集團公司北京長城計量測試技術研究所、中國測試技術研究院、蘇州慧利儀器有限責任公司聯合主辦。會議由中國工程院李同保院士主持,江蘇計量院長度所平麵度項目負責人楊慧敏參加了此次會議。
中國工程院院士莊鬆林、李同保,中國工程院外籍院士顧敏等5位院士,共同擔任本次研討會的會議主席。莊鬆林致開幕辭,來自國內平麵度測量領域的頂尖專家長春光機所副所長張學軍、中國測試技術研究院副所長冉慶,上海理工大學的王浩宇博士、萬新軍博士,德國的聯邦物理技術研究所主任Gerd Ehret、英國南安普頓大學教授John Mcbride、德國斯圖加特大學主任Pedrini Giancarlo等平麵度專家分別在研討會上發表了專題報告。
報告內容涉及超高精度平麵和平板麵形波前幹涉檢測技術研究、大口徑平麵平晶的絕對檢測方法比對、幹涉儀在半導體單晶矽片檢測上的應用,光學和光波麵平麵度的溯源計量,移相平麵等厚幹涉儀測量不確定度分析,在會議上,德國PTB平麵度實驗室還公布了2018年平麵度參數國際比對數據和結果。
本次國際研討會起點高,專業性強,聚焦平麵度專業計量技術領域最新發展、熱點話題、關鍵挑戰等問題,深入研討了平麵度測量和高精度平麵製造加工的難點和發展方向,有效推動計量測試技術發展,促進了行業技術交流與合作,對江蘇計量院平麵度項目建設具有指向性和針對性的指導意義。
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